场景
评价昂贵
有的现场每改一组参数都要等机器稳定,一次评价代价高,不能靠大量试错。
本页写的是一类现场,不是某厂交付记录。半导体产线只作图示氛围。公开文献里光刻、刻蚀一类配方探索说明这类现场确实在做在线参数自动调优,不代表 OptimLight 已在该产线交付。
现场通常怎么做
人用较少次数、凭经验选下一组参数。等稳定的时间已经花掉,观测窗口也短,换人之后很难复述当时为什么这样选。
产品怎么收
等待步先判定机器是否已经稳定、参数是否已经生效,再打开测量窗口。现行 BO 适合评价一次代价高、需要更省步数的搜索。EA 仍可用于需要种群搜索的同一类现场。
